三氯氫硅（化學(xué)式SiHCl?）是一種重要的有機(jī)硅化合物，常溫下為無色透明液體，具有刺激性氣味且極易揮發(fā)。作為半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵原料，它主要通過硅粉與氯化氫在高溫（300-500℃）下反應(yīng)制得，其純度要求極高（電子級需達(dá)99.9999%以上），微量雜質(zhì)都會影響下游產(chǎn)品的電學(xué)性能。需要特別注意的是，該物質(zhì)遇水會劇烈水解生成鹽酸和硅氧烷，儲存時必須隔絕空氣與濕氣。
在工業(yè)生產(chǎn)中，三氯氫硅展現(xiàn)出雙重特性：既是制造高純多晶硅的核心中間體（通過西門子法還原），又是合成有機(jī)硅單體的基礎(chǔ)原料。當(dāng)溫度超過450℃時，氫氣可將其還原為棒狀多晶硅（太陽能級純度6N-8N），這是光伏電池片的主要材料。同時，它還能與烯烴發(fā)生加成反應(yīng)，生成各類硅烷偶聯(lián)劑，廣泛用于密封膠、涂料等復(fù)合材料領(lǐng)域。
由于其蒸汽與空氣混合易形成爆炸性氣體（爆炸極限4.1-70.5%），操作時需嚴(yán)格防爆。當(dāng)前全球產(chǎn)能主要集中在德國瓦克、美國Hemlock等企業(yè)，我國通過改良流化床工藝已實現(xiàn)技術(shù)突破，單套裝置年產(chǎn)能可達(dá)5萬噸。隨著N型光伏電池技術(shù)升級，對三氯氫硅的品質(zhì)要求正向11N級（99.999999999%）演進(jìn)，這推動了分子篩吸附、低溫精餾等純化技術(shù)的持續(xù)創(chuàng)新。
